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等離子開封機-特斯特電子科技公司-甘肅開封機

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超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式：基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式，激光開封機，它的特點是分辨率高，對待測樣品厚度的沒有限制。透射模式只在半導體企業(yè)中用作器件篩選。該系統(tǒng)的就是帶壓電陶瓷的微波鏈，壓電陶瓷在射頻信號發(fā)生的激勵下，產(chǎn)生短的聲脈沖，隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起，超聲波掃描顯微鏡的這 個帶壓電陶瓷的部件叫換能器，甘肅開封機，英文是：Transducer。換能器既能把電信號轉(zhuǎn)換成聲波信號，化學開封機，又能把從待測樣品反射或透射回來的聲波信號轉(zhuǎn)換成電信 號，等離子開封機，送回系統(tǒng)進行處理。

偵測到亮點之情況；

會產(chǎn)生亮點的缺陷：1.漏電結(jié)；2.解除毛刺；3.熱電子效應；4閂鎖效應； 5氧化層漏電；6多晶硅須；7襯底損失；8.物理損傷等。 偵測不到亮點之情況 不會出現(xiàn)亮點之故障：1.亮點位置被擋到或遮蔽的情形（埋入式的接面及 大面積金屬線底下的漏電位置）；2.歐姆接觸；3.金屬互聯(lián)短路；4.表面 反型層；5.硅導電通路等。

點被遮蔽之情況：埋入式的接面及大面積金屬線底下的漏電位置，這種情 況可采用Backside模式，但是只能探測近紅外波段的發(fā)光，且需要減薄及 拋光處理。

對于故障分析而言，微光顯微鏡(Emission Microscope， EMMI)是一種相當有用且效率極高的分析工具。主要偵測IC內(nèi)部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination會放出光子(Photon)。舉例說明：在P-N 結(jié)加偏壓，此時N阱的電子很容易擴散到P阱，而P的空穴也容易擴散至N然後與P端的空穴（或N端的電子）做 EHP Recombination。

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