真空箱氦檢漏系統(tǒng)主要用于檢測電子產(chǎn)品的密封性能,常用于手機(jī)、筆記本電腦等產(chǎn)品在量產(chǎn)線上的可靠性和一致性測試。該系統(tǒng)的操作原理是:首先將待測電子產(chǎn)品放入真空氣氛室中抽真空并充入高純度惰性氣體——氦氣;然后通過的信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生高頻電脈沖或機(jī)械振動(dòng)源(聲學(xué)法),均勻地輻射到被測樣品上形成特定的應(yīng)力場;接著利用示蹤粒子“氦”原子無色透明且易與環(huán)境介質(zhì)充分滲透的特點(diǎn),使氦氣的濃度能夠迅速傳遞到達(dá)泄漏點(diǎn)并在其中彌散和溶解起來;使用靈敏的測量儀器對(duì)抽取到的含有微小泄露物的樣本進(jìn)行定量分析以得出樣品的實(shí)際壓力值并與參考標(biāo)準(zhǔn)相比較來判斷是否合格。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備,主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動(dòng)的高純度惰性氣體(通常是氮或)流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離,氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng),如果存在泄的話,那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會(huì)從有縫隙的地方跑出去形成氣泡,從而產(chǎn)生聲學(xué)信號(hào)或者叫作粒子束,通過測量這個(gè)聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對(duì)各種材料均不敏感而且對(duì)于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測定,因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷;也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個(gè)密封件是否有缺陷。
氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量微小泄漏的設(shè)備,通常應(yīng)用于航空航天、汽車制造和維護(hù)以及石油化工等領(lǐng)域。該系統(tǒng)的原理基于氣體超聲波流量計(jì)技術(shù),通過向待測容器內(nèi)注入一定量的惰性氣體(如氦氣),并根據(jù)容器的壓力變化來計(jì)算出泄露的氣體量。由于大多數(shù)工業(yè)設(shè)備的微量滲漏會(huì)導(dǎo)致輕微的壓力降落或零點(diǎn)偏移現(xiàn)象發(fā)生,因此使用這種非侵入性的方法進(jìn)行測試可以有效地發(fā)現(xiàn)這些細(xì)微缺陷的存在并對(duì)其進(jìn)行修復(fù)處理。此外,對(duì)于一些高精度要求的場合下還需要采用其他輔助手段來進(jìn)行驗(yàn)證以確保終結(jié)果的準(zhǔn)確性可靠性及穩(wěn)定性;同時(shí)隨著科技的不斷進(jìn)步與發(fā)展未來將會(huì)有更多更的技術(shù)與方法被應(yīng)用到這一領(lǐng)域中以便更好地滿足實(shí)際生產(chǎn)及應(yīng)用需求與目標(biāo)要求。
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